氮化硅陶瓷加工专用设备

　　氮化硅陶瓷具有优良的机械性能、化学性能和物理性能，是一种重要的结构陶瓷。近年来，氮化硅陶瓷在化工、冶金、航天等领域的应用日益广泛。但是氮化硅是强共价键化合物，自扩散系数低，并且在1600℃就明显分解。如果不添加助烧剂，纯氮化硅几乎不可能烧结。

　　除此之外，氮化硅在陶瓷基板上的应用是近年的热门话题，但受限于其热导率一直难以实用。导致氮化硅热导率低的因素有晶粒缺陷、晶界相和杂质等，针对这几点，为了尽可能大的降低成本，现阶段通常从提高烧结温度和时间、采用流延法定向排布、选取合适的原料、选取合适的烧结助剂等方面进行解决。其中，选取合适的烧结助剂是提高氮化硅陶瓷热导率的有效办法，稀土氧化物也因此备受重视。

　　目前，氮化硅中最为常见的MeO-Re2O3添加剂。张洁等研究了稀土氧化物（Y2O3、CeO2和La2O3）及CaO、MgO对氮化硅陶瓷的热导率及电学和机械性能的影响，其采用SPS烧结，发现Y2O3-MgO烧结添加剂，可以得到热导率高于80W/（m.K）、抗弯强度大于1000Mpa的氮化硅陶瓷，其热导率随着稀土元素阳离子半径的增大而减小。值得一提的是，ZhouYou等采用SRBSN工艺，以Si粉为原料，以MgO-Y2O3为烧结添加剂获得了177W/（m.K）热导率的氮化硅陶瓷，这也是目前为止有报道过的最高的氮化硅热导率。

　　①稀土氧化物和氮化铝表面的Al2O3发生反应，形成了液态的玻璃相，提供液相环境，促进烧结，改善组织的致密度，提高其相对密度。

　　②稀土氧化物与氮化铝中氧杂质反应形成铝酸盐，在晶界处大量集聚，抑制氧进入到晶格，减少缺陷使组织致密化，减少声子的散射，增大声子的平均自由程，提高热导率。

　　③稀土氧化物可将氮化铝陶瓷晶格中固溶的氧置换出来，从而可改善陶瓷的晶体缺陷，减少铝空位，增加声子的平均自由程，提高热导率。

　　氮化硅陶瓷硬度高，材料的脆性较大，加工时容易出现崩边、碎裂等情况。通常加工陶瓷件都是使用专用的陶瓷精雕机加工，可以有效的减少成本，达到高精密加工。鑫腾辉数控自研了一款陶瓷加工专用的陶瓷雕铣机，陶瓷雕铣机是一款防护性能好、加工精度高的陶瓷专用高速雕铣机。陶瓷雕铣机加强了机床的刚性，加工时产生的振动可降至最小，保证精度的同时也可以提升加工效率，而且防护性能针对陶瓷粉末进行了加强，可以完全杜绝粉末对机床的损伤。鑫腾辉数控也可以提供陶瓷加工技术，拥有一支技术精湛的CNC加工、磨削团队，精密零部件研发定制加工等。